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产品名称:

MC系列气体质量流量控制器

产品型号: 产品时间: 2020-10-15
MC系列气体质量流量控制器$n可快速达到新的设定值,并保持该设定值,即使在压力突然增加的情况下,亦如此。我们将根据您的应用参数为您定制阀门和PID调节功能,确保相关产品能快速实现稳定控制。

产品概述

响应式气体流量控制,抑制压力波动

性能的质量流量控制器只需将流量保持在您的设定值。艾里卡特MC系列气体质量流量控制器可快速达到新的设定值,并保持该设定值,即使在压力突然增加的情况下,亦如此。我们将根据您的应用参数为您定制阀门和PID调节功能,确保相关产品能快速实现稳定控制。

  • 多功能。监控流速的同时控制压力;可选择另一台已知路程气体校准仪或者利用COMPOSER™气体编辑器确定自己的气体组成。
  • 连接。利用以太网/IP、EtherCAT、DeviceNet、Profibus、Modbus(RTU和TCP/IP)或串行通讯选项,可将这款产品轻松整合到您的数字工业网络中。
  • 耐用。可在不受损的情况下让液体暂时流动。为保证对环境影响的耐受性,我们可为您的MFC构建IP66等级防护。

更多产品信息请查看质量流量计、质量流量控制器、压力控制器、压力传感器。

  • Specs
  • 定制
  • 零件编号
  • Applications

性能

  • 可用量程:最大0-5000 slpm;最小0-0.5 sccm/0-500 sμlm(欲了解常备量程,参见零件编号标签)
  • 可调比:200:1(MC系列)或100:1(MCS系列)
  • 标准精度(NIST可溯源):±(0.8%读数+0.2%满量程)
  • 高精度(选配,NIST可溯源):±(0.4%读数+0.2%满量程)
  • 可重复性:0.2%满量程
  • 标准质量流量控制器响应时间常数:50-100ms(若有PID调节功能,可缩短至25ms)
  • 无需预热时间

工作条件

  • 兼容气体:98(MC系列)或130(MCS系列)种预置可选气体;利用COMPOSER气体编辑器自定义的其它混合气体
  • 工作温度:-10°C至+60°C
  • 最大内部压力(静态):145 psig(160 psia)
  • 耐受压力:175 psig(190 psia)

包装清单

  • MC系列气体质量流量控制器(电源需另行订购)
  • NIST可溯源校准证书
  • 艾里卡特操作说明书

配件(需另行订购)

  • 过程端口接头和过滤器
  • 电源
  • 通讯线缆和转换线缆
  • BB3和BB9多点式集线盒
  • Flow Vision软件

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