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产品名称:

MCE和MCV系列真空气体质量流量控制器

产品型号: 产品时间: 2020-10-15
MCE和MCV系列真空气体质量流量控制器$n采用内置气动截止阀,适用于高真空应用。将空气管线连接到截止阀上,防止在设定点为零时出现污染情况。

产品概述

简单升级老化的热式流量控制器

艾里卡特MCE或MCV系列真空气体质量流量控制器是真空专用设备。MCE系列产品的特征如下:与我们标准质量流量控制器的控制响应速度一样快,外形包括1/4″ VCR焊接接头且能与SEMI标准气体质量流量控制器实现端对端的匹配连接。

MCV和MCE联系紧密,采用内置气动截止阀,适用于高真空应用。将空气管线连接到截止阀上,防止在设定点为零时出现污染情况。

  • 多功能。监控流速的同时控制压力;可选择另一台已知路程气体校准仪或者利用COMPOSER™气体编辑器确定自己的气体组成。
  • 连接。利用以太网/IP、EtherCAT、DeviceNet、Profibus、Modbus(RTU和TCP/IP)或串行通讯选项,可将这款产品轻松整合到您的数字工业网络中。
  • 耐用。MCE和MCV系列真空气体质量流量控制器可在不受损的情况下让液体暂时流动。

更多产品信息请查看质量流量计、质量流量控制器、压力控制器、压力传感器。

  • Specs
  • 定制
  • 零件编号
  • Applications

性能

  • 可用量程:最大0-20 slpm;最小0-0.5 sccm/0-500 sμlm(欲了解常备量程,请参见零件编号标签)
  • 可调比:200:1(MCE/MCV)或者100:1 (MCES/MCVS)
  • 标准精度(NIST可溯源):±(0.8%读数+0.2%满量程)
  • 高精度(选配,NIST可溯源):±(0.4%读数+0.2%满量程)
  • 可重复性:0.2%满量程
  • 标准控制器响应时间常数:50-100ms(若有PID调节功能,可缩短至25ms)
  • 气动阀漏气率(仅MCV系列):1 x 10-9 atm scc/sec(最大值,氦气)
  • 无需预热时间

工作条件

  • 兼容气体:98种(MCE/MCV系列)或130种(MCES/MCVS系列)预置可选气体;利用COMPOSER气体编辑器自定义的其它混合气体
  • 工作温度:-10°C至+60°C
  • 最大内部压力(静态):145 psig(160 psia)
  • 耐受压力:175 psig(190 psia)
  • STP/NTP:用户可选(默认为25°C & 1 atm STP/0°C & 1 atm NTP)

MCEMCV系列包装清单:

  • MCE和MCV系列真空气体质量流量控制器(电源需另行订购)
  • NIST可溯源校准证书
  • 艾里卡特操作说明书

配件(需另行订购)

  • 过程端口接头和过滤器
  • 电源
  • 通讯线缆和转换线缆
  • BB3和BB9多点式集线盒
  • Flow Vision软件

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