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产品名称:

BASIS系列OEM气体质量流量控制器

产品型号: 产品时间: 2020-03-11
BASIS系列OEM气体质量流量控制器
绝不会让您感到失望,NIST可溯源的精度与重复性使其在工作第700天时仍像第一天一样。

产品概述

OEM应用中的基础流量控制

对于大数额订单,能为用户提供可重复、可靠、经济的气体流量控制方案。专为原始设备制造商(OEM)无应力设备集成而设计的BASIS轻便灵巧、内置高精度MEMS传感器、并具有艾里卡特特有的快速阀门控制。

  • 可靠。绝不会让您感到失望,NIST可溯源的精度与重复性使其在工作第700天时仍像第一天一样。
  • 灵敏。您不会再因为压力峰值而毁了一整天。具有业内的控制速度和阀门调节,能带给用户的益处将远远超出预期。
  • 兼容。BASIS系列OEM气体质量流量控制器应用范围相当广,轻便灵巧、多气体标定、模拟及数字双重通讯将为您的项目设计提供更大的灵活性。

更多产品信息请查看质量流量计、质量流量控制器、压力控制器、压力传感器。

  • Specs
  • 定制
  • 零件编号
  • Applications

性能

  • 可用量程:0-100 sccm、0-1000 sccm、0-20 slpm 和0-50 slpm(参见零件编号标签)
  • 可调比:200:1(1/20和50 slpm)或100:1(100 sccm)
  • 校准精度(NIST可溯源):±(1.5%读数+0.5%满量程)
  • 可重复性:0.5%满量程
  • 标准控制器响应时间常数:100ms(可利用PID调节功能调节)
  • 预热时间:70ms,达到完整精度

工作条件

  • 兼容气体:空气、氩气、二氧化碳、氮气、氧气、一氧化二氮(可通过串行连接选择气体);订购时还可以选择氦气或氢气校准(仅使用一种气体)
  • 工作温度:0°C至+50°C
  • 最大内部压力(静态):对于0-100和0-1000 sccm量程—145 psig(160 psia);对于0-20和0-50 slpm量程—60 psig(75 psia)
  • 耐受压力:175 psig(190 psia)
  • STP: 25°C & 1 atm(14.696 psia)

包装清单

  • BASIS系列OEM气体质量流量控制器(电源需另行订购)
  • NIST可溯源校准证书
  • 艾里卡特操作说明书

配件(需另行订购)

  • 过程端口接头和过滤器
  • 通讯线缆
  • Flow Vision软件

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